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半导体装备MOCVD热场解决计划
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金属有机物化学气相沉积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition，简称 MOCVD)是制备混淆半导体器件、金属及金属氧化物、金属氮化物薄膜质料的一种芯片外延手艺 。加热系统是 MOCVD 装备的主要组成部分，它能否快速、匀称的加热衬底，直接影响着薄膜沉积的质量、厚度一致性，以及芯片的性能 。凯时国际娱乐拥有10年MOCVD用铼加热器专业制作手艺履历及完善的品控治理系统，是替换MOCVD用铼加热器入口大牌或原厂配件，能够举行OEM全工序代工代制，最具手艺开发实力和品质包管能力的海内头号厂家 。
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