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钌靶 钌溅射靶材
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所属分类
返回列表
1
产品形貌
参数
应用
钌靶主要用于真空镀膜领域
产品规格
|
物理性子 |
颜色 |
硬，脆的银色有数金属 |
|
密度 |
12.37g/cm³ |
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|
熔点 |
2250℃ |
|
|
手艺指标 |
纯度 |
99.95% |
|
相对致密度 |
>99% |
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|
切面平整度 |
3.2Ra |
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|
公差 |
±0.1mm |
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|
晶粒度 |
匀称 |
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材质 |
Ru |
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产品规格
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规格01多弧靶：直径<1000mm 厚度>1mm |
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|
规格02矩形：长度：不限 宽度：不限 厚度：不限 矩形/片材/台阶状(长宽可拼接） |
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|
规格03圆柱：外直径<420mm 内直径>1mm 壁度>1mm 长度>1mm（管材/圆环/旋转靶材） |
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规格04：颗粒球型，粉末型 |
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规格05：凭证用户需要举行定制，来样加工，来图加工 |
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最少起订量 |
1件，量大优惠 |
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交货期 |
原质料种种尺寸大宗备货，恒久供应，质量可靠 。 |
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制作工艺 |
真空磁悬浮熔炼 ，浇铸成锭，热机械处置惩罚和细密机械加工 |
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产品用途 |
真空镀膜，实验或研究级别用钌靶材，电子，光电，军用，装饰镀，功效薄膜等 |
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|
产品优点 |
质量可靠，价钱优惠 |
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|
真空熔炼，提纯制备，纯度高，杂质少 |
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|
轧制致密，氧化少，成型可塑 |
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|
相对致密度高，晶粒匀称等轴，一致\性高 |
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产品附件 |
正式报价单/购销条约/装箱单/材质剖析检测单/正规发票 |
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包装方法 |
真空包装 |
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典范化学剖析
|
杂质因素(ppm) |
|||||||
|
Os |
Pt |
Ni |
Fe |
Si |
Pd |
Ti |
As |
|
4 |
2 |
2 |
5 |
8 |
2 |
2 |
2 |
|
Bi |
Cu |
Zr |
Ca |
Zn |
Se |
Mg |
|
|
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
|
|
杂质因素（低于仪器检测规模）（ppm） |
|||||||
|
V |
Sn |
Rh |
Ir |
Mo |
Ag |
Cd |
Sb |
|
＜2 |
＜2 |
＜2 |
＜2 |
＜2 |
＜2 |
＜2 |
＜2 |
|
Mn |
Al |
Co |
Te |
Au |
B |
Pb |
Cr |
|
＜2 |
＜2 |
＜2 |
＜2 |
＜2 |
＜2 |
＜2 |
＜2 |
要害词:
钌靶
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半导体靶材
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